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广州潽拓光电科技有限公司——爱德华磁悬浮分子泵

岛津是的涡轮分子泵（TMP）制造商之一。岛津TPM主要用于为制造半导体器件、太阳能电池和平板显示器提供不可或缺的高真空环境。

岛津生产的TMP具有国际水准的气体吞吐量和抽气速度，可满足日益严格的半导体制造的工艺需求。例如，使制造商能够在大面积硅片上沉积和蚀刻半导体薄膜。

我司特针常用的 Shimadzu TMP3203涡轮分子维修保养内容如下：

1、超声波清洗转/定子叶片及腔体并烘干

2、更换了全套陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品

3、马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量

4、根据ISO1940/1& ANSI S2.19,调整测试动平衡至Ｇ0.16标准,

5、测试0-27000rpm启动时间<3分钟*测试极限真空值<1.0*10－7mbar等

6、持续模拟生产现场测试24小时,

7、0-20KHz震动频谱加速度分析

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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磁悬浮分子泵工作原理

它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

Shimadzu EI-D2003M岛津磁悬浮分子泵控制器输入电压单相AC200～240V，额定频率450Hz，所需电力1.2kVA，岛津EI-D2003M磁悬浮分子泵驱动器可以控制的分子泵有Shimadzu TMP-2003M/MC、TMP-2003LM/LMC等

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油性棉花污染

　　建议在3-4年内更换分子泵油棉。普发复合轴承分子泵的内部陶瓷轴承采用油润滑，可以冷却轴承，减少轴承球的磨损和清洁分子泵轴承。有效地延长了分子泵的预定。

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Shimadzu TMP-1303LM岛津磁悬浮分子泵维修，日本岛津Shimadzu TMP-1303LM/TMP-1303 LMC，Shimadzu TMP-1303MC岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D1303M